• 緊湊的設計實現小的占地空間
• 鏡臂部分和鏡體分開, 使高的樣品觀察成為可能
• 標配158×158mm手動移動載物臺(大可用于200mm晶圓檢查)
• 選配長工作距離物鏡, 極大方便磁頭檢查
• 采用防靜電設計，極大方便磁頭檢查
• 提高系統靈活性和操作舒適性，滿足SEMI S2/S8標準
光學系統
UIS2光學系統（無限遠校正光學系統）
顯微鏡鏡體
Z軸同軸粗微調調焦，載物臺行程范圍：32 mm（從焦面上行2 mm和下行30 mm）
行程相同：15 mm（配合透射光照明）
Z軸微調焦每旋轉一周的行程0.1 mm（1個單位1 μm）
調焦機構張力可調
有調焦上限位機構
照明系統
BX-KMA 明視場照明器
BX-RLA2 明視場/暗視場照明器
觀察方式轉換
—
明視場-暗視場滑塊轉換法
可適用觀測模式
①明視場法
②DIC微分干涉襯比法
③偏振光照明法
②暗視場法
③DIC微分干涉襯比法
④偏振光照明法
⑤紅外光
光源
6V30W瓦鹵素燈
燈座: U-LS30-4
變壓器: TL-4
12V100W瓦鹵素燈
燈座: U-LH100L-3
電源整合在MX51顯微鏡中
透射照明
明視場MX-TILLK照明燈，配備光纖照明附件（MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用）
觀察鏡筒
U-BI30-2 寬場雙目鏡筒， U-TR30-2 寬場三目鏡筒，
U-ETR3 寬場正像三目鏡筒(F.N. 22)，U-SWTR 超寬場三目鏡筒，MX-SWETTR 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5)
物鏡換鏡轉盤
U-5RE-2, U-6RE
U-D5BDRE, U-D6BDRE, U-P5BDRE (帶有微粉干涉襯比法棱鏡滑槽)
載物臺
U-SIC4R2/SIC4L2同軸右/左手控制4英寸×4英寸載物臺
MX-SIC6R2同軸右/左手控制6英寸×6英寸載物臺
蘇公網安備 32059002001842號
