OMT-5R半導體檢查顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡、圖像清晰，襯度好。是針對半導體工業(yè)、硅片制造業(yè)、電子信息產(chǎn)業(yè)、治金工業(yè)開發(fā)的，作為**工業(yè)顯微鏡使用?？蛇M行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察，廣泛用于工廠、研究機構(gòu)、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。

技術(shù)規(guī)格
觀察頭	30°鉸鏈式三目（50mm-75mm）
目鏡	WF10×/25mm
	WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板
轉(zhuǎn)換器	帶DIC插孔明暗場五孔轉(zhuǎn)換器
物鏡	平場無限遠長工作 距離明暗場物鏡： 5×/0.1B.D/W.D.29.4mm  10×/0.25B.D/W.D.16mm 20×/0.40B.D/W.D.10.6mm 40×/0.60B.D/W.D.5.4mm 50×/0.55B.D/W.D.5.1mm選配 80×/0.75B.D/W.D.4mm選配 100×/0.80B.D/W.D.3mm選配
平臺	雙層移動平臺
	平臺尺寸: 350mm×310mm
	移動范圍：250mm×250mm
濾色片	插板式濾色片（綠、藍、中性）
調(diào)焦	粗、微動同軸調(diào)焦，采用齒輪齒條傳動機構(gòu) 微動格值0.002mm
光源	落射照明：帶孔徑光欄和視場光欄，鹵素燈12V/100W，AC85V-230V亮度可調(diào)節(jié)
偏光裝置	檢偏鏡可360度轉(zhuǎn)動，起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
檢測工具	0.01mm
可供附件	目鏡：WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
	130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡
	平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、   80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
	二維測量軟件
	專業(yè)金相圖像分析軟件
	DIC（10×、20×、40×、100×）
	攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
	壓平機
	數(shù)字相機OMT-130C,OMT-300C和OMT-500C    測量軟件OMT-1.5D