◆ 無限遠光學系統
◆ 長工作距離平場復消色差物鏡2X、5X、10X、20X、50X
◆ X、Y移動平臺尺寸可定制,可作電動
◆ Z軸可加裝精密千分表,實現Z軸高度測量
◆ 同軸粗微調焦機構,微動格值0.002mm
◆ 照明系統:150W冷光源光纖反射照明器
◆ 三維測量系統:分辨率: 1μm
測量精度: ±(2+L/200)μm
重復定位精度: 2μm
蘇公網安備 32059002001842號