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產品中心

OMT-5R半導體檢查顯微鏡暗視場顯微鏡尼康江南舜宇奧林巴斯
產品型號:OMT-5R
簡介:

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OMT-5R半導體暗視場檢查顯微鏡

         OMT-5R半導體檢查顯微鏡配有大移動范圍的載物臺、落射照明器、平場無限遠長工作距離明暗場物鏡、大視野目鏡、圖像清晰,襯度好。是針對半導體工業、硅片制造業、電子信息產業、治金工業開發的,作為**工業顯微鏡使用。可進行明暗場觀察、落射偏光、DIC觀察,廣泛用于工廠、研究機構、高等院校對硅片、電路基板、FPD、精密模具的檢測分析。
 

技術規格            
觀察頭
  30°鉸鏈式三目(50mm-75mm)
目鏡
  WF10×/25mm
  WF10×/20mm,帶0.1mm十字分劃板
轉換器
  帶DIC插孔明暗場五孔轉換器
物鏡
平場無限遠長工作 距離明暗場物鏡:
5×/0.1B.D/W.D.29.4mm 
10×/0.25B.D/W.D.16mm
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
50×/0.55B.D/W.D.5.1mm選配
80×/0.75B.D/W.D.4mm選配
100×/0.80B.D/W.D.3mm選配
平臺
  雙層移動平臺
  平臺尺寸: 350mm×310mm
  移動范圍:250mm×250mm
濾色片
  插板式濾色片(綠、藍、中性)
調焦
  粗、微動同軸調焦,采用齒輪齒條傳動機構 微動格值0.002mm
光源
  落射照明:帶孔徑光欄和視場光欄,鹵素燈12V/100W,AC85V-230V亮度可調節
偏光裝置
  檢偏鏡可360度轉動,起偏鏡、檢偏鏡均可移出光路
檢測工具
  0.01mm
可供附件
  目鏡:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
  130萬、200萬、300萬、500萬像素CMOS電子目鏡
  平場無限遠長工作距離明暗場物鏡:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
  80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
   二維測量軟件
  專業金相圖像分析軟件
  DIC(10×、20×、40×、100×)
  攝影裝置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
  壓平機
  數字相機OMT-130C,OMT-300C和OMT-500C    測量軟件OMT-1.5D

 

 
OMT-5R特點說明
1.  采用了UIS高分辨率、長工作距離無限光路校正系統的物鏡成像技術。
2.  拓展了物鏡的復用技術,無限遠物鏡與所有觀察法相兼容包括明暗視野法、偏光法,并在每一 
       觀察法中均提供高清晰的圖像質量。
3.  采用非球面Kohler照明,增加觀察亮度。
4.  WF10X(Φ25)超大視野目鏡,長工作距離明暗場金相物鏡。
5.  可插DIC微分干涉裝置的轉換器。


 

OMT-5R半導體檢查顯微鏡暗視場顯微鏡尼康江南舜宇奧林巴斯

蘇公網安備 32059002001842號

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